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由我公司成功研制的50W、150W、300W、500W、1000W射頻電源及600W、2000W、5000W國產(chǎn)射頻匹配器，廣泛適用于等離子體刻蝕、鍍膜、清洗、等離子體增強(qiáng)、感應(yīng)加熱以及太陽能制造設(shè)備PECVD制作中。射頻電源具有體積小、散熱性高、可承受駐波比高、操作簡單、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)勢。匹配器功率覆蓋范圍大（50W-5KW）、匹配時間短（≤3秒）、指示功能全、操作簡單，二者均可通過數(shù)字接口實施計算機(jī)數(shù)據(jù)采集和控制，輕松實現(xiàn)實時入射功率、反射功率、直流偏壓等的精確測量。我公司備有大量樣機(jī)，供客戶測試使用歡迎來電咨詢聯(lián)系！ 聯(lián)系方式：13621233966