TMR傳感器是一種利用隧道磁阻效應的磁敏感元件,通過改變外部磁場能夠引起TMR傳感器的電阻變化。磁阻效應主要應用于對磁場的檢測。
TMR傳感器是第四代磁傳感器應用技術。TMR 傳感器具有精度高、靈敏度高、功耗低、尺寸小、溫度穩(wěn)定性好、工作溫度范圍寬等優(yōu)點。
磁阻式元件與 HALL 元件相比,具有體積小,靈敏度高等優(yōu)點,并且具有更好的磁場穩(wěn)定性。AMR 元件的靈敏度比 HALL 元件的靈敏度高很多,但是 AMR 元件的工作范圍很窄,并且 AMR 元件本身帶有巴克豪森噪聲,外加磁場很強的時候,AMR 元件會因為磁場強度過強而出現(xiàn)輸出反向的問題。GMR 元件的磁場靈敏度比 HALL 元件高出了很多,但是其分辨率和線性度較低,體積比較大,制作工藝相對來說比較復雜,并且 GMR 元件存在層間耦合效應,應用受到了很大限制。TMR 元件的磁場靈敏度是四種元件中最高的,并且工作范圍廣、分辨率高、功耗低、體積小,可以制成各種高靈敏度的磁傳感器。